X射线显微镜具有分辨率高、透视成像等特点,成为不可替代的无损检测手段。国外近年来出现了一种基于肖特基式场发射阴极的X射线显微镜,其分辨率可达0.1m以内。本文系统分析了该显微镜的工作原理,并对显微镜的未来发展趋势进行了展望。 且大多数电子的发射角度过大，无法被系统利用，很难满足XRM的开发需要。图1ZrO/W（100）肖特基式场发射阴极扫描电镜图图2In-LensFieldEmissionGun结构示意图为此，人们开发出了一种新型的电子枪，即将电子枪安装到一个强磁透镜中，这种电子枪可以称之为In-LensFieldEmissionGun，可以很大地提升电子源利用效率。图2展示了这种电子枪的结构示意图。显微技术开发进展-电动折弯机数控滚圆机滚弧机张家港钢管滚圆机滚弧机与传统电子枪不同的是，该透镜叠加了一个强磁透镜（聚光镜，CondenserLens），其位置恰恰和电子枪重合，形成了一个电磁符合透镜。因此，电子从一发出就开始聚焦，本文由公司网站滚圆机网站采集转载中国知网整理!   http://www.gunyuanji158.com/迅速形成了平行电子束，极大地提升电子束的利用率。值得注意的是，STC的工作条件极为苛刻，特别是需要超高真空环境（~10-7~10-8Pa）才能够工作。因此，上述磁透镜专门设计成位于真空外的额外的组件；装配时将电子枪插入该透镜即可，而电子枪则是处于超高真空下。2电子透镜开发由于STC的等效直径极小，仅有20~50nm。为实现一个0.1m的电子束焦点，需要将电子源进行放大。然而，放大透镜往往带来成像质量的恶化。而上述In-LensFieldEmissionGun的采用还有另外一个优势：电子束的反向延长线形成了一个虚源。当电子束被聚焦成平行光束之后，其反向延长线，近似在无穷远处。图2中的a即为电磁复合透镜的焦距。实际测试以及模拟仿真都证明：a最小可达几毫米。由于透镜像差近似正比于焦距的4次方，毫米级别的焦距可以显著减小系统像差。在将电子束聚焦至很窄的平行光束之后，投射到物镜上（ObjectiveLens），再次聚焦形成一个很小的电子束焦点轰击到靶材（Target）上。同理，由于透镜的像差近似正比于其焦距的4次方，采用强聚焦的磁透镜可以实现小焦点。当选择合适的光阑后，该焦?显微技术开发进展-电动折弯机数控滚圆机滚弧机张家港钢管滚圆机滚弧机本文由公司网站滚圆机网站采集转载中国知网整理!   http://www.gunyuanji158.com/